德国BACH巴赫真空负压进口安全阀专为真空系统设计，工作压力范围-0.1至0.01MPa，使用温度-80-200℃。采用波纹管密封结构，泄漏率≤1×10⁻⁶Pa·m³/s，响应灵敏度达±50Pa。阀体材质为316L不锈钢，配备氟橡胶密封圈（耐真空度≤5×10⁻⁴Pa），启闭寿命超过10万次。产品通过PED 2014/68/EU认证，适用于半导体、光伏等行业的超高真空环境压力保护。

1. 真空压力控制技术

德国BACH巴赫该产品采用三项核心技术：

双级密封系统：金属波纹管+弹性体密封组合（漏率≤1×10⁻⁷mbar·L/s）

超低压感应：膜片式压力传感器（检测精度±0.5%FS）

无油润滑：自润滑石墨阀杆导向套（摩擦系数≤0.05）

快速响应：平衡式阀瓣结构（动作时间≤100ms）

防粘连设计：镜面抛光阀座（表面粗糙度Ra≤0.2μm）

2. 核心性能参数

压力范围：低真空型-0.1~-0.01MPa/超高真空型≤5×10⁻⁴Pa

使用温度：标准型-30~150℃/宽温型-80~200℃

连接方式：KF/QF法兰（DN16-DN160）

密封材料：氟橡胶（标准）/全氟醚橡胶（高温型）

流量特性：Cv值0.5-25（对应通径1/2"-6"）

3. 材料与结构方案

阀体：316L真空熔炼不锈钢（出气率≤5×10⁻¹⁰Pa·m³/s·cm²）

波纹管：多层无氧铜（循环寿命≥50万次）

阀瓣：17-4PH沉淀硬化不锈钢

密封件：FFKM全氟橡胶（耐电子束辐照）

紧固件：钛合金TC4真空镀膜处理

4. 安装运维规范

系统集成要求：• 安装前需200℃烘烤除气（时间≥24小时）• 入口管道长度≤3倍公称直径• 每周测试静态保压性能维护要点：

每月检查波纹管伸缩状态（位移量≥15mm）

每季度更换密封润滑脂（真空硅脂）

每年校准压力传感器零点

德国BACH巴赫该产品采用磁流体动态密封技术，在10⁻⁶Pa级真空环境下仍能保持稳定启闭。可选配电加热套件（功率≤30W），防止低温结霜，适用于极端环境下的真空系统过压保护。